以技术撬动市场,打造满足先进半导体工艺需求的直线模组

随着中国半导体产业的发展,中国半导体材料行业发展现状及竞争格局发生深刻变革。半导体产业链包括上游供应、中游制造、下游应用。其中,半导体材料处于上游供应环节,材料品类繁多。半导体材料和设备是基石,成为推动集成电路技术创新的引擎。而在半导体设备中,直线电机作为主要运动控制部件,发挥着重要作用。

 

 

 

目前,最先进的光刻机、IC 粘接机、IC 塑封机等多种加工设备均采用高速、高精度的直线电机作为动力装置。  半导体设备上使用的直线电机模组有标准型的,也有定制型的。根据技术需求不同,运动平台的结构也会有所不同。比如下面应用于半导体固晶设备上的线马科技XY直线模组平台。

 

 

线马科技直线电机固晶应用示意图

 

线马科技X.Y固晶平台采用了高效率的无铁芯直线模组作为驱动部件,集成具有极佳线性表现的开放式增量光栅系统,拥有较高的速度和加速度,以及稳定的精度表现。相较于丝杆驱动,结构更加紧凑,效率更高,可对IC做快速且准确的搬运工作,轻松实现您对于高吞吐量、高可靠性、精密定位、静音运行的要求。

 

现阶段国内半导体行业还处于发展的起步阶段,设备开发也主要集中在后道工序,要赶上国际先进水平仍有很长的一段路要走,对于直驱技术厂家来说,需要做好提前布局,跟上产业发展的步伐,深入钻研这一特殊领域的应用需求,不断推出技术创新的产品和方案。围绕半导体设备高精度封装、检测等工序环节,线马科技可为客户提供定制化的直线电机专精服务,提供具有更高精度,更高速度,更高力度的直线电机。

深圳线马科技有限公司,专注于线性马达的研发、定制、生产、制造,为客户定制最合适的自动化运动系统。面向高端制造行业,致力于自动化工业的生产效率、品质的提高。
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