UM系列定位工作台是线马科技面向精密测量与检测推出的高精度定位平台。平台采用DXM无槽直线电机及盘式DDR直驱电机为动力，利用交叉滚子导轨与轴环做导向，内置高分辨率光栅反馈，实现XYθ三轴联动。作为理想的测量仪器和检测设备的定位机构，UM系列可广泛应用于半导体、液晶相关制造设备及清洁环境下的图像对准处理等场景，以直驱结构实现微米级乃至亚微米级重复定位精度，是精密对位、视觉检测等工序的首选。

特点

• 三轴联动·直驱结构：X/Y轴采用DXM无槽直线电机及盘式DDR直驱电机驱动，免去丝杆、减速等中间传动环节，消除背隙与摩擦，实现高刚性、高响应与高精度运动。

• 高精度定位：内置高分辨率光栅，分辨率达0.1μm、重复定位精度±0.5μm；R轴分辨率0.25/0.36角秒、重复定位精度±0.5/0.8角秒，满足微米级对位与检测需求。

• 交叉滚子导轨导向：采用交叉滚子导轨与轴环做导向，承载能力强、运动平稳，兼顾刚性与精度保持性。

• 紧凑一体化设计：XYθ三轴集成于一体，结构紧凑、节省空间，便于快速集成至各类测量仪器与检测设备。

UM系列定位工作台凭借X、Y、θ三轴联动与亚微米级重复定位精度，广泛适用于半导体封装测试、晶圆/液晶面板制造、精密视觉检测、图像对准处理，以及清洁环境下的各类测量与检测设备。其紧凑一体化结构与直驱设计，可替代传统多层叠加丝杆平台，减少传动链、提升动态响应与定位精度，助力设备商缩短集成周期、提升整机检测效率与精度。